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CIRP Annalsに掲載

高橋が第一著者の論文「A novel dark field in-process optical inspection method for micro-openings on mirrored surfaces beyond the diffraction limit using active phase control」がCIRP Annals - Manufacturing Technology 63 (2014), pp. 465-468, DOI: 10.1016/j.cirp.2014.03.035に掲載されました.共著者は,S. Takahashi, , H. Yokozeki, D. Fujii, R. Kudo, K. Takamasuです.