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精密工学会春季大会 @東洋大学にて発表

当研究室からは,以下の七名が,2015年度精密工学会春季大会学術講演会(2015年3月17日-19日)に参加,発表しました.

 

田原弘之:エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究(第21報) 一オーバーハング形状創製の実験的検討一

鈴木裕貴:エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究(第22報) 一窒素パージを利用した超高分解能露光の実験的検討一

堀田陽亮:光触媒ナノ工具に関する基礎的研究(第7報) 一回折限界を超えた微細除去加工の検討一
加地史弥:光触媒ナノ加工工具に関する基礎的研究(第8報) 一放射圧動的制御による高安定トラップ一

横関宏樹:スポット照明の重複シフトによる光学式超解像検査法(第5報) 一離散的サンプルを用いた提案超解像原理の実験的検証一

久米大将: 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第19報) 一3光束干渉定在波照明の自動生成法の検討一

橘 一輝:自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究