ICSCRM2023にて助教の門屋先生が研究発表を行いました
9月17-22日にイタリアのソレントで行われたICSCRM 2023 (International Conference on Silicon Carbide and Related Materials) にて助教の門屋先生が研究発表を行いました。
- 門屋 祥太郎 助教
Proposal of damage-free SiC wafer dicing using water jet guided laser
◯Shotaro Kadoya, Satoru Takahashi, Masaki Michihata, Noboru Ohtani, Kozo Abe, and Shunsuke Arimura