精密工学会秋季大会 @鳥取にて発表
高橋研からは，吉越，加地，田原，横関（全員M2）の四名が，2014年度精密工学会秋季大会学術講演会（2014年9月16日-18日）に参加，発表しました．
それぞれの発表題目は以下です．
吉越久倫：光触媒ナノ粒子を用いた3次元微細構造創製に関する研究（第4報）—THz波制御素子への応用可能性の検討—
加地史弥：光触媒ナノ工具に関する基礎的研究（第6報）—インプロセス工具位置観察ユニットの実装—
田原弘之： エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第20報）—マスクレス露光による面内形状形成の検討—
横関宏樹：スポット照明の重複シフトによる光学式超解像検査法（第4報）—スポット照明超解像型基礎実験装置の基本的機能検証—
また，阪大特任研究員の工藤良太さんが超解像関連の共同研究として以下を発表しました．
定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査（第18報）—コヒーレント結像逐次再構成型超解像による二次元超解像法のシミュレーションによる検討—