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CIRP General Assembly @Nantes(France)にて高橋が研究発表

高橋が,フランス,ナントで開催されたCIRP General Assembly(August 24th-30th, 2014)に参加,発表しました.

発表題目は,「A novel dark field in-process optical inspection method for micro-openings on mirrored surfaces beyond the diffraction limit using active phase control」です.