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精密工学会秋季大会 @東北大学にて発表

当研究室からは,以下の三名が,2015年度精密工学会秋季大会学術講演会(2015年9月4日-6日)に参加,発表しました.

鈴木裕貴(M1):エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究(第23報) 一3光束干渉エバネッセント波造形の検討一

堀田陽亮(M2):全方位姿勢制御型光触媒ナノ加工工具に関する研究—姿勢制御ユニット創製に関する実験的検討—

久米大将(M2): 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第20報) ガウシアンフィルタを用いた点像分布関数制御の基礎的検討一