LEM21＠京都にて，鈴木君，橘君が研究発表
The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)において，高橋研究室から以下 2件の口頭発表を行いました。今回のLEM21は，2015年10月18-22日の日程で，Kyoto Research Parkで開催されました．
鈴木裕貴：Improvement of lateral shape controlling with nitrogen purge for nano-stereolithography using evanescent light
橘 一輝：High-sensitive optical measurement of fine particulate defects on Si wafer surface with liquid probe