高橋が,公益社団法人精密工学会・超精密位置決め専門委員会・第110回定例会「位置決め技術トピックスから見た動向と注目トピックス」にて,「構造照明シフトによる超解像光学式欠陥計測技術の開発」という題目で講演を行いました.