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精密工学会秋季大会@茨城大学にて研究発表

2016年9月6-8日に茨城大学で開催された精密工学会の秋季大会で高橋研究室から以下 5件の口頭発表を行いました。

 

久米大将:定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査 (第21報) ガウシアンフィルタによる点像分布関数制御のための基礎実験装置の構築

橘 一輝:自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究 (第4報) 液相プローブ高感度観察装置の検討

儲 博懐:WGM共振を利用した微小球の直径計測 (第6報) 近似式を用いた屈折率推定法の検討

鈴木裕貴:エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究 (第25報) 機能性評価に向けた表面微細構造創製装置の開発

金 成碩:サブ回折限界微小開口の非破壊光学式深さ計測法 (第2報) 基礎検証実験装置の構築