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精密工学会秋季大会@大阪大学にて発表

当研究室からは,以下の四名が,2017年度精密工学会秋季大会学術講演会(2017年9月20日-22日)に参加,発表しました.

久米大将(D2):定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第22報)—基礎実験装置の基本機能の確認—

増井周造(M2): エバネッセント光多方位干渉造形法による次世代表面機能構造の創製(第1報)—RCWA法を用いた光学特性解析—

松本侑己(M2): 二重結像型マイクロ光造形法による表面微細構造ユニットの一括創製に関する研究

佐久間涼子(UG):サブ回折限界微小開口の非破壊光学式深さ計測法(第4報)—FDTD解析に基づいた低ノイズ光学モデルの構築—