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修論審査発表会にて鈴木（裕）君，橘君，金君，儲君が発表

鈴木裕貴，橘一輝，金成碩，儲博懐が，精密工学専攻2016年度修論審査発表会にて，修士論文の内容を発表しました．

  • 鈴木裕貴：エバネッセント露光型多光束干渉造形法による表面微細構造創製技術の開発
  • 橘　一輝：液相プローブ式光学的基板上ナノ異物検出法における高感度光学系の検討
  • 金　成碩：サブ回折限界微小開口の非破壊光学式深さ計測法に関する基礎研究
  • 儲　博懐：WGM共振を用いた微小球直径計測における屈折率の精密補正法に関する研究

修論に至る外部発表は以下です．

鈴木裕貴 ：

原著論文

  1. Yuki Suzuki, Hiroyuki Tahara, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi, Evanescent Light Exposing System under Nitrogen Purge for Nano-Stereolithography, Procedia CIRP, 42, 2016, 77 – 80. （国際会議3.で発表したもの）

国際会議

  1. Yuki Suzuki, Kunikazu Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi,：Fabrication of Functional Microstructures by Multi-beam Interference Lithography Using Evanescent Light, 16th International Conference on Precision Engineering (ICPE2016), Hamamatsu, Japan, November 2016.

  2. Yuki Suzuki, Kunikazu Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi, Omnidirectional One-Shot Exposure Micro-Stereolithography for Biomimetic Hemisphere with Micro Structured Surface, 31st American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE2016), Portland, USA, October 2016.

  3. Yuki Suzuki, Hiroyuki Tahara, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi, Evanescent Light Exposing System under Nitrogen Purge for Nano-Stereolithography, 18th CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining (ISEM XVIII), Tokyo, Japan, April 2016.

  4. Yuki Suzuki, Hiroyuki Tahara, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: Improvement of lateral shape controlling with nitrogen purge for nano-stereolithography using evanescent light, 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), Kyoto, Japan, October 2015.

国内会議（本人が発表）

  1. 鈴木裕貴，松本侑己 ，道畑正岐，高増潔，高橋哲，工藤宏人：エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究 (第26報) —多光束干渉によるミリオーダ領域のサブミクロン表面微細構造創製—，2017年度精密工学会春季大会学術講演会，(2017)，申込済み．
  2. 鈴木裕貴，松本侑己，道畑正岐，高増潔，高橋哲：エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第25報）—機能性評価に向けた表面微細構造創製装置の開発—，2016年度精密工学会秋季大会学術講演会，(2016), E13.
  3. 鈴木裕貴，鈴木邦和，道畑正岐，高増潔，高橋哲：エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第24報）－多光束干渉エバネッセント波による微細複雑パターン造形－, 2016年度精密工学会春大会学術講演会, 東京理科大学, 2016, D64, 269-270.
  4. 鈴木裕貴，鈴木邦和，道畑正岐，高増潔，高橋哲：エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第23報）－3光束干渉エバネッセント波造形の検討－, 2015年度精密工学会秋大会学術講演会, 東北大学, 2015, I68, 555-556.
  5. 鈴木裕貴，田原弘之，高橋哲，高増潔：エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第22報）－窒素パージを利用した超高分解能露光の実験的検討－, 2015年度精密工学会春大会学術講演会, 東洋大学, 2015, M66, 845-846

国内会議（連名）

  1. 松本侑己 ，鈴木裕貴，道畑正岐，高増潔，高橋哲，工藤宏人：エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究 (第27報) —エバネッセント光による面内形状制御性の解析—，2017年度精密工学会春季大会学術講演会，(2017)，申込済み．
  2. 松本侑己，鈴木裕貴，道畑正岐，高増潔，高橋哲：エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（エバネッセント露光用光硬化性樹脂の開発），日本機械学会第11回生産加工・工作機械部門講演会(2016), B30, 101-102.
  3. 鈴木邦和，鈴木裕貴，道畑正岐，高橋哲，高増潔：一括面露光型マイクロ光造形法による表面機能構造創製に関する研究, 2016年度精密工学会春大会学術講演会, 東京理科大学, 2016, T64, 1013-1014.
  4. 田原弘之，鈴木裕貴，高橋哲，高増潔：エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第21報）－オーバーハング形状創製の実験的検討－, 2015年度精密工学会春大会学術講演会, 東洋大学, 2015, A61, 24-25
  5. 田原弘之，鈴木裕貴，高橋哲，高増潔：エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第20報）－マスクレス露光による面内形状形成の検討－, 2014年度精密工学会秋季大会学術講演会, 鳥取大学, 2014, R02, 875-876．

特許

  1. 高橋哲，鈴木裕貴，鈴木邦和，道畑正岐，高増潔，田中大直，西村涼：母型の製造方法，PCT/JP2016/074037，出願日2016年8月17日(特願2015-161889，国内出願日2015年8月19日)
  2. 高橋哲，道畑正岐，鈴木裕貴，鈴木邦和，田中大直：オーバハング構造体の製造方法及び製造装置，特願2016-036719，出願日2016年2月29日

受賞，その他

  1. 公益財団法人 金型技術振興財団「平成28年度金型等に関する海外との技術交流助成」受給 　　2016年11月
  2. 2015年度精密工学会春季大会学術講演会　ベストプレゼンテーション賞 　2015年3月

橘　一輝 ：

国際会議

  1. Kazuki TACHIBANA, Shohei ASAI, Masaki MICHIHATA, Kiyoshi TAKAMASU, Satoru TAKAHASHI：Optical Detection of Fine Particulate Defects with Autonomous Search-and-split Liquid Probe -Characteristics analysis of optical detection-, 16th International Conference on Precision Engineering, Hamamatsu, Japan, November 2016. A307-8210.

  2. Kazuki Tachibana, Shohei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi：Optical detection of fine particulate defects by autonomous searching liquid probe: theoretical design of high sensitive phase detection system, Proc. of International Symposium on Optomechatronic Technology , November 2016, C2-4.

  3. Kazuki Tachibana，Shohei Asai，Masaki Michihata，Kiyoshi Takamasu，Satoru Takahashi: “High-sensitive Optical Detection of Fine Particulate Defects by Autonomous Searching Liquid Probe: Observation of Dynamic Interaction with Defects”， Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO2016), San Jose(US), June 2016.

  4. Kazuki TACHIBANA，Masaki MICHIATA，Satoru TAKAHASHI，Kiyoshi TAKAMASU: “High-sensitive optical measurement of fine particulate defects on Si wafer surface with liquid probe”， Leading Edge Manufacturing (LEM21 2015), Kyoto, finalmanuscript_1507，October 2015. 1507. 

国内会議（本人が発表）

  1. 橘一輝，浅井 祥平，道畑 正岐，高増 潔，高橋 哲：自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究 (第5報) —位相利用高感度観察装置による検出—，2017年度精密工学会春季大会学術講演会，(2017)，申込済み．
  2. 橘一輝，浅井祥平，道畑正岐，高増潔，高橋哲：自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第4報）—液相プローブ高感度観察装置の検討—，2016年度精密工学会秋季大会学術講演会，(2016), H04.
  3. 橘一輝，浅井 祥平，道畑 正岐，高増 潔，高橋 哲: “自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究(第2報) FDTDシミュレーションに基づいた光学的検出特性解析”， 2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集A01,pp.1-2.
  4. 橘一輝，高橋哲，高増潔：光学的ナノ異物検出を可能とする高感度液相プローブ計測法の研究，日本機械学会2015年度年次大会，北海道大学，2015，S1320104
  5. 橘一輝，高橋哲，高増潔：自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究, 2015年度精密工学会春大会学術講演会, 東洋大学, 2015, C03, 117-118

国内会議（連名）

  1. 浅井 祥平，橘一輝，道畑 正岐，高増 潔，高橋 哲：自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究 (第6報) —数値流体力学を用いた液相プローブの挙動特性に関する解析—，2017年度精密工学会春季大会学術講演会，(2017)，申込済み．
  2. 浅井 祥平，橘 一輝，道畑 正岐，高増 潔，高橋 哲: “自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究(第3報) 基板上液相プローブの挙動に関する解析”， 2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集(2016), C34, pp.177-178.

受賞，その他

  1. 日本学術振興会「特別研究員学振　DC1」内定　　　　　                          2016年10月
  2. 東京大学工学系「プレSEUT奨励制度」受給　　　　　                              2016年10月
  3. 公益財団法人 村田学術振興財団「第32回（平成28年度）海外派遣助成」受給 　　　　　　　2016年6月
  4. 2016年度精密工学会春季大会学術講演会　ベストプレゼンテーション賞 　2016年3月
  5. Leading Edge Manufacturing (LEM21 2015)にて，Certificate of Merit for Outstanding Presentation を受賞　2015年10月

金　成碩 ：

原著論文

  1. S. Takahashi, C. Jin, S. Ye, M. Michihata, K. Takamasu: Theoretical analyses of a novel in-process depth measurements of sub-diffraction limited microgrooves based on near-field optical response, CIRP Annals - Manufacturing Technology, 2017．投稿済み

国際会議

  1. Chengshuo JIN, Masaki MICHIHATA, Kiyoshi TAKAMASU, Satoru TAKAHASHI：Non-Destructive Optical Depth Inspection of Sub-Diffraction Limit Fine Holes -Theoretical analysis of optical responses based on FDTD method-,  16th International Conference on Precision Engineering, Hamamatsu, Japan, November 2016. A317-8233.

  2. Chengshuo JIN, Masaki MICHIHATA, Kiyoshi TAKAMASU, Satoru TAKAHASHI：Development of non-destructive optical depth measurement of sub-diffraction limit fine holes, The 5th international conference on Nanomanifacturing (nanoMan2016), 15. Aug. 2016. Macau, 1030.

国内会議

  1. 金　成碩，道畑 正岐，高増 潔，高橋 哲: サブ回折限界微小開口の非破壊光学式深さ計測法（第3報）―提案手法の原理検証―，2017年度精密工学会春季大会学術講演会，(2017)，申込済み．
  2. 金成碩，道畑正岐，高増潔，高橋哲：サブ回折限界微小開口の非破壊光学式深さ計測法（第2報）—基礎検証実験装置の構築—，2016年度精密工学会秋季大会学術講演会，(2016), H32.
  3. 金成碩，道畑正岐，高増潔，高橋哲：サブ回折限界微小開口の非破壊光学式深さ計測法—FDTD法を用いた光学応答の理論解析—,2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集(2016), A13, pp.17-18.
  4. 金成碩，久米大将，横関宏樹，高橋哲，高増潔：スポット重複移動情報を用いた光学式超解像検査法の開発，日本機械学会2015年度年次大会，北海道大学，2015，S132010
  5. 久米大将，金成碩，道畑正岐，高増潔，高橋哲：定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査（第20報）－ガウシアンフィルタを用いた点像分布関数制御の基礎的検討－, 2015年度精密工学会秋大会学術講演会, 東北大学, 2015, B34, 111-112.

儲　博懐 ：

国際会議

  1. Bohuai Chu, Masaki Michihata, Kohei Hayashi, Kiyoshi Takamasu, and Satoru Takahashi,“Calibration of Refractive Index in Microsphere Diameter Measurement Based on Analysis of Polarized Whispering Gallery Mode,” International Symposium on Optomechatronic Technology (ISOT2016), Tokyo, Japan, C5-3, (2016)

国内会議

  1. 儲博懐, 道畑正岐, 林晃平, 高増潔, 高橋哲: WGM共振を利用した微小球の直径計測（第7報）—共振波長の精密計測—，2017年度精密工学会春季大会学術講演会，(2017)，申込済み．
  2. 儲博懐, 道畑正岐, 林晃平, 高増潔, 高橋哲: WGM共振を利用した微小球の直径計測（第6報）—近似式を用いた屈折率推定法の検討—，2016年度精密工学会秋季大会学術講演会，(2016)，H08, 411-412．
  3. 道畑正岐, 儲博懐, 高増潔, 高橋哲: Whispering gallery mode 共振を用いたマイクロ球径計測（偏光に着目した屈折率校正法の提案），日本機械学会2016年度年次大会，(2016)，S1330103.
  4. 堀田陽亮, 儲博懐, 増井周造, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲:全方位姿勢制御型光触媒ナノ加工工具に関する研究（第2報）—液相内における工具創製の実験的検討—，2016年度精密工学会春季大会学術講演会，(2016)，D63, 267-268．
  5. 儲博懐, 堀田陽亮, 増井周造, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲: 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究（第10報）－銀担持による工具チップ性能の向上－，2016年度精密工学会春季大会学術講演会，(2016)，T62, 1009-1010．
  6. 堀田陽亮，儲博懐，道畑正岐，高増潔，高橋哲：全方位姿勢制御型光触媒ナノ加工工具に関する研究—姿勢制御ユニット創製に関する実験的検討—,2015年度精密工学会秋大会学術講演会, 東北大学, 2015, G08, 399-400.