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研究内容
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次世代の超精密ものづくりを実現するため，我々生命体の根源をなす“光”エネルギを媒体とした新しいマイクロ/ナノ加工・計測・生産技術に関する研究を推進している．
すなわち，従来から製造現場において広く用いられてきた，高い遠隔制御性を特徴とする自由空間伝搬光エネルギに加え，主に基礎科学分野において用いられてきた，高い空間的局在性を特徴とするエバネッセント光や近接場光といった局在光エネルギも含めて，次世代の先進的生産技術を支援する光エネルギの可能性を追求している．
具体的には，レーザー応用ナノインプロセス計測，レーザー応用ナノ加工に代表される先進製造を実現するための要素技術開発とともに，新しいマイクロデバイス生産システム概念となるセルインマイクロファクトリを提唱し，その確立を目指している．
それぞれの研究・技術開発においては，(a) 新概念の提案から，(b) 理論・実験両面からの特性解析，(c) 実用化を見据えた実験的検証までをカバーする．主な研究テーマは以下の通りである．
- 局在フォトン高精度制御による回折限界超越センシングに関する研究
- 超精密加工表面性状の局在フォトン応用ナノインプロセス計測技術の開発
- 半導体製造におけるナノ欠陥の高感度・超解像光学的計測法の開発
- 光コム光源を応用した次世代高精度センサの開発
- エバネッセント局在フォトンを用いたナノ機能形状創製技術の開発
- 局在光エネルギの動的制御を用いたセルインマイクロファクトリに関する研究
- ウォータガイドレーザ加工の高機能化技術・インプロセス計測技術の開発
- 光共振を用いた形状標準の計測に関する研究
- Whispering gallery mode共振を用いた標準球のナノメートル精度評価
- マイクロ／ナノファイバーインプロセス計測に関する研究
- 超高精度３次元形状計測に関する研究
上述のような研究内容に興味がある方は，気楽にお問い合わせください.
